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Aerotech高精密转台，aerotech高精密气浮转台，aerotech高精密机械转台
ABRS超精密转台
详细描述：
自1970年Aerotech开始研制最高性能的运动控制产品和精密定位系统，这些产品广泛
应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及
医学设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，电子产品制造、测试及装配等行
业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻
要求的高性能精密运动控制产品。
更多产品信息请联系高控张巨鹏 18518556588（微信） jupeng.zhang@goldkong.com
QQ:1960513446
Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值，我们的座右铭是：
Dedicated to theScienceof Motion。
Aerotech高精密转台，aerotech高精密气浮转台，aerotech高精密机械转台
ABRS超精密转台
ABRS气浮轴承精密运动转台拥有一个低矮的外形轮廓，并且能够提供出众的角度定位精度
，卓越的速度稳定性以及极小的运动误差。
ABRS精密转台的设计应用于硅片检测，高精度测量，激光衍射系统，光学检测和制造以及
纳米制造技术。
特点:
1. 无刷无槽力矩电机直接驱动
2. 卓越的速度稳定性（无齿槽效应）
3. 极佳的运动性能，误差小，无抖动
4. 直连式高精度圆光栅反馈
5. 扁平结构设计
6. 气浮轴承，无机械接触
台面直径：128~278mm
反馈分辨率：0.036~0.18 arc sec
双向重复定位精度：<1arc sec
定位精度： 2 arc sec
异步轴跳： 20nm
异步径跳： 20nm
ADR系列直接驱动精密转台提供精确的角度定位和速度控制。
应用范围包括高速激光加工和硅片精密检测。
特点：
1.无刷力矩电机直接驱动
2.无齿槽设计提供卓越的速度稳定性
3.极佳的运动性能，误差小，无抖动
4.直连式高精度圆光栅反馈
5.高精度机械轴承支撑
6.最大载荷可达150kg
台面直径：57~240mm
反馈分辨率：0.036~13 arc sec
双向重复定位精度： 1arc sec
定位精度： 2 arc sec
轴跳： 0.5um
径跳： 1um
精密转台
ARMS直驱旋转精密旋转平台
1.设计来生成高精确运动
2.在全部360°范围都能达到0.0001%速度稳定性
3.定位分辨率0.02角秒
4.有效负载230kg
5.完整的导电环和不固定的旋转管套节
6.可选直驱无刷电机以实现高转速和高扭矩输出
孔径8mm-25mm
分辨率0.02-2arcsec
精度±2.5arcsec
精密转台
Aerotech高精密定位平台的详细描述：
自1970年Aerotech开始研制最高性能的运动控制产品和精密定位系统，这些产品广泛
应用于世界范围内的工业制造、政府及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及
医学设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，航空和国防，电子产品制造、测
试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足
市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。
Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值，我们的座右铭是：
Dedicated to the Scienceof Motion。
ABL1000气浮平台
1专为高性能校准和装配应用设计
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.05um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
更多产品信息请联系高控张巨鹏 18518556588（微信） jupeng.zhang@goldkong.com
QQ:1960513446
精密定位平台
ABL1500直线电机平台
1专为高性能扫描和检测应用设计
2分辨率达到nm以下的直线编码器反馈
3全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4大负载高刚性几何特性极好
行程≤500mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
ABL2000气浮平台
1专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2运动超平滑,速度稳定性突出
3直线编码器或激光干涉仪反馈
4行程达1.2米
5全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6全部非接触设计
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
ABL3600气浮平台
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um
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精密定位平台
ABL8000气浮平台
1专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.40um
平面度±0.40um
ABL9000气浮平台
1世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um
AHL9000直线电机平台
1专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承
3行程达1.2米X1.2米
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度±1.0um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.60um
平面度±0.60um
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ABG10000气浮平台
1气浮导轨实现超平滑运动
2所有轴都预加载荷
3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3行程达1mx1m
4非接触直线编码器(光栅)
5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．
行程≤1000mm
精度±2um
重复定位精度±0.5um
直线度±1um
平面度±1um
ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米定位
2.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）
3.1纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
精密定位平台
ALS25000 直线电机平台
1.防护金属导轨罩和侧面封闭可以适应恶劣的环境
2.完整的电缆管理系统
3.高性能直驱直线电机实现优良的伺服性能
4.紧凑结构以适应有限空间的应用需求
行程600mm
精度±1.0um
ANT95-XY系列双轴纳米平移台1.结构紧凑25mm*25mm或50mm*50mm行程
2.实现大行程纳米定位
3.高分辨率（1纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（250纳米）
4.1纳米的位置稳定性
5.抗爬行十字交叉滚珠轴承
6.高动态特性
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ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台1.大行程实现纳米定位
2.高分辨率（2纳米），重复定位精度（75纳米），定位精度（300纳米）
3.2纳米的位置稳定性
4.抗爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
ALS1000 直线电机平台
1.直驱直线马达实现超精密运动
2.长寿命直线运动导轨系统
3.2轴内部电缆管理系统
4.可选气体净化的密封设计
5.低成本，占地面小，高性能
行程450mm
精度±1.0um
负载50.0kg
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QQ:1960513446
精密定位平台
ALS5000 直线电机平台
1.适合恶劣环境
2.坚.台面和导轨罩
3.完全整合电缆管理系统
4.高精度，非接触式直线编码器（光栅尺）
5.可选气体净化的密封设计
行程1000mm
精度±1.0um
负载135.0kg
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ALS5000WB 直线电机平台
1.宽底座可以承受较大的偏移负载
2.强大的双直线电机驱动
3.坚硬涂层台面和导轨罩
4.完全整合电缆管理系统
5.可选气体净化的密封设计
行程1000mm
精度±1.0um
负载135.0kg
精密定位平台
ALS20000 直线电机平台
1.保护金属导轨罩
2.完整的电缆管理系统
3.洁净空间应用的理想选择
4.紧凑的结构，高性能，直线电机平台
5.成像和扫描应用中具有优良的速度控制性能,适合成像和扫描应用
行程600mm
精度±1.0um
负载70.0kg
ABRT气浮转台-34E-A010
ABRT-34E-A011
ABRT-34E-A012
ABRT-34E-A013
ABRT-34E-A014
ABRT-34E-A015
ABRT-34E-A016
ABRT-34E-A017
ABRT-34E-A018
ABRT-34E-A019
ABRT气浮转台-34E-A020
ABRT-34E-A021
ABRT-34E-A022
ABRT-34E-A023
ABRT-34E-A024
ABRT-34E-A025
ABRT-34E-A026
ABRT-34E-A027
ABRT-34E-A028
ABRT-34E-A029
ABRT-34E-A030
ABRT气浮转台-34E-A031
ABRT-34E-B003
ABRT-34E-B004
ABRT-34E-B005
ABRT-34E-B006
ABRT-34E-B007
ABRT-34E-B008
ABRT气浮转台-34E-B009
ABRT-34E-B010
ABRT-34E-B011
ABRT-34E-B012
ABRT-34E-B013
ABRT-34E-B014
ABRT-34E-B015
ABRT-34E-B016
ABRT-34E-B017
ABRT-34E-B018
ABRT-34E-B019
ABRT-34E-B020
ABRT-34E-B021
ABRT-34E-B022
ABRT-34H-F230
ABRT-34H-F231
ABRT-34H-F232
ABRT-34H-F233
ABRT-34H-F234
ABRT-34H-F235
ABRT-34H-F236
ABRT-34H-F237
ABRT-34H-F238
ABRT-34H-F239
ABRT-34H-F240
ABRT-34H-F241
ABRT-34H-F242
ABRT-34H-F243
ABRT-34H-F244
ABRT-34H-F245
ABRT-34H-F246
ABRT-34H-F247
ABRT-34H-F248
ABRT-34H-F249
ABRT-34H-F250
ABRT-34H-F251
ABRT-34H-F252
ABRT-34H-F253
ABRT-34H-F254
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